硅油是一种不同聚合度链状结构的聚有机硅氧烷，是一类品种系列多、应用范围广的有机硅产品。按聚硅氧烷链上取代基团的不同分类。硅油可分为: 甲基硅油、含氢硅油、乙烯基硅油及聚醚改性硅油、苯基硅油、羟基硅油、氟硅油、氨基硅油、乙基硅油等多种类型。
由于取代基团的不同，硅油的种类很多，表现出沸点和分解温度的不同，如沸点，有的100多度，有的300多度。一般的硅油分解温度在300℃以上，最高的可以达到500 ℃。硅油在高温下分解的产物是二氧化硅（SiO2）。
根据以上分析，如果VOCs中含有硅油，那么即使微量的硅油带入催化剂理论上会产生如下影响。1. 如果硅油的沸点很高，分解温度也很高，那么会直接黏附在催化剂表面，导致催化剂失活；2. 如果硅油的沸点低，在催化温度下发生了分解生成二氧化硅，对催化剂的影响较小。对于VOCs催化剂能否促进硅油分解，目前没有看到这方面的研究报道。
如果采用活性炭吸附浓缩-催化燃烧技术，由于硅油的沸点高，会吸附在活性炭表面难以脱附，因此对后续的催化燃烧影响就比较小了。