撰文｜李霖发 编辑｜LZ
北方华创是中国高端电子工艺装备龙头公司，产品是电子工艺装备和电子元器件，设有半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件四个核心事业集群。
实际控制人北京电控持股 10.47%，通过全资子公司北京七星华电科技集团间接持股 35.89%，合计46.36%，北京电控实际控制人是北京市国资委；国家集成电路产业投资基金持股7.92%。
公司始于2001年，分为三个阶段：
▶ 初创阶段：2001年成立七星电子和北方微电子，七星电子以七星集团为主发起设立，主营半导体装备及精密电子元器件；北方微电子由北京电控联合七星集团、清华大学、北京大学、中科院微电子所和中科院光电技术研究所设立，主营高端半导体装备业务。
▶ 快速成长期：2015 年七星电子与北方微电子重组，引进国家集成电路产业基金、京国瑞基金多方战略投资人，由此成为中国规模最大高端半导体设备公司。2017 年更名“北方华创”，形成北方华创微电子、北方华创真空、北方华创新能源和北京七星精密电子四家全资子公司结构。
▶ 2018年之后：北方华创微电子收购了美国 Akrion Systems LLC 公司，丰富了高端集成电路设备产业线；2019年定增募资加码高端集成电路研究和高精密电子元器件研究项目；2020年收购了“北广科技”射频应用技术。
公司构建了半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件四个核心事业集群。产品分为电子工艺装备和电子元器件，电子工艺装备为营收主要来源，它分为半导体装备、真空装备及新能源锂电装备三大类。
半导体装备2020年收入占比约69%，经营主体为全资子公司北方华创微电子，包括刻蚀设备及薄膜设备（PVD、CVD）、氧化/扩散炉、清洗/退火等设备品类，用于集成电路、先进封装、LED、光伏、MEMS。
真空及新能源设备收入约占 12%，真空装备经营主体为全资子公司北方华创真空，包括真空热处理设备、气氛保护热处理设备、连续式热处理设备和晶体生长设备四个大类产品，应用于新能源、新材料、真空电子、航空航天和磁性材料，新能源设备主要是二次电池制造设备，经营主体为北方华创真空子公司和北方华创新能源。
精密元器件收入占比21%，包含精密电阻器、钽电容器、石英晶体器件、微波组件、模块电源、混合集成电路等，广泛应用于自动控制、电力电子、精密仪器仪表、铁路交通。
半导体设备均覆盖了刻蚀机、PVD、CVD、ALD、氧化/扩散炉、退火炉、MFC、清洗机等前道工序所需大部分核心设备，批量进入本土集成电路及LED、MEMS、光伏等泛半导体领域生产线，部分产品成为龙头厂商量产线Baseline机台。
集成电路产品进入了中芯国际、长江存储、武汉新芯，28 纳米 HardmaskPVD、Al-PadPVD 设备进入国际主流供应链体系；LED客户有三安光电、华灿光电，并针对 Mini/Micro-LED 两种不同技术路线均展开布局；显示面板客户包括全球龙头京东方，且已布局LED、硅基OLED；光伏领域是隆基股份主要供应商。
刻蚀是用化学、物理、化学物理结合的方法有选择的去除（光刻胶）开口下方的材料。被刻蚀的材料包括硅、介质材料、金属材料、光刻胶。刻蚀是与光刻相联系的图形化处理工艺，分为湿法刻蚀及干法刻蚀。
2011 年以来，刻蚀在晶圆设备占比从11%提升到20%。刻蚀设备市场基本是干法刻蚀设备，介质刻蚀硅和金属刻蚀各占一半，重点布局金属刻蚀和硅刻蚀设备工艺。2020年lCP刻蚀机完成 1000 腔交付，应用覆盖集成电路、LED、先进封装、功率半导体、MEMS、化合物半导体、硅基微显。
公司8英寸铝金属刻蚀机2017年进入本土主流代工厂生产线，独特的腔室结构和温度控制设计，打破了国际厂商长期垄断 8 英寸刻蚀机，同时推出12英寸TiN硬掩膜刻蚀机，应用于28-14n逻辑制程中。
它在2016 年自主研发的首台应用于14nm制程的ICP刻蚀机 NMC612D进入上海集成电路研发中心，正式迈入14nm刻蚀工艺。
薄膜沉积生长设备分为：物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积（CVD）和外延三类。
2018 年薄膜沉积设备132亿美元，占晶圆设备约22%。薄膜设备中，CVD 使用越来越广泛。晶圆设备市场占比22%，CVD占15%，PVD 占4%，薄膜沉积中84%是CVD；CVD 中 82%是非管式 CVD。
LPCVD 设备在半导体薄膜淀积中应用广泛，这个工艺是通过将反应器内进行沉积反应时的操作压力降低的一种CVD反应。北方华创推出了THEORIS 302 LPCVD、HORIS L6371及多功能LPCVD 系列产品。
PECVD 设备是一种低温淀积薄膜的设备，主要应用于光伏领域。其在晶硅太阳电池的实际生产中具有十分重要且广泛的应用。目前市场上 90%以上的太阳能电池都是晶体硅材料制造而成，制造高效、低成本的晶硅电池对于大规模的利用太阳能发电有着十分重要的意义。
扩散（Diffusion）：通过高温热处理作用将扩散源（固态源、液态源、气态源等）扩散到圆片衬底上，也称为热扩散。扩散工艺设备简单、扩散速率快、掺杂浓度高，但扩散温度高、控制精度低，离子注入出现逐渐被其替代。
离子注入（Ion Implantation）：使具有一定能量的带电粒子（离子）高速轰击硅衬底并将其注入硅衬底的过程。优点：温度较低、准确控制浓度和深度、重复性好。离子注入过程会造成晶格损伤，所以需要 RTP。
清洗机是将晶圆表面上产生的颗粒、有机物、自然氧化层、金属杂质污染物去除，以获得所需洁净表面的工艺设备。清洗机应用于集成电路制造工艺中的成膜前/成膜后清洗、等离子刻蚀后清洗、离子注入后清洗、化学机械抛光后的清洗和金属沉积后清洗等各个环节。
北方华创拥有多种类型的单片清洗设备和槽式清洗设备，应用于集成电路、半导体照明、先进封装、MEMS 和功率器件、微机电系统、化合物。
2015年至2020年，收入从8.54亿元到60.56亿元，增长了609%；利润从3864万元到5.36亿元，增长了1287%。
北方华创可比公司有：ASML、AMAT、LAM Research、TEL、KLA、中微公司、长川科技。
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来源：睿蓝财经（ID:ruilan808）